欢迎来到苏州国恒洁净技术有限公司

联系方式

    苏州国恒洁净技术有限公司

    联系人:郭先生

    联系电话:0512-68654836  

    服务热线:189-1358-3005 

    企业邮箱:szgheng@163.com

    联系Q Q:550107325   

    联系地址:苏州市吴中经济开发区越溪街道

苏州洁净棚洁净室中的温湿度控制

发布时间 : 2018-11-28 17:46:49      访问量 : 801次

  苏州洁净棚洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

上海洁净棚

苏州洁净棚洁

  具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。


  湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。


  苏州国恒洁净技术有限公司http://www.szgheng.cn是专业从事空气净化系统工程设计、施工、安装和净化设备生产和销售的企业。公司产品包括初、中、高效空气过滤器,风机过滤单元(FFU),洁净棚、洁净工作台、百级层流罩、称量罩,高效送风口、风淋室、洁净采样车、通风柜、生物安全柜、传递窗、风机箱等空调净化配套产品。

联系人:郭先生  联系QQ:550107325

联系电话:0512-68654836  联系邮箱:szgheng@163 .com

联系地址:苏州市吴中经济开发区越溪街道

189-1358-3005

主动推送 网站地图 企业分站: 安徽 江苏 山东 浙江 上海 友情链接: 苏州洁净棚 通力电梯配件 汽车棚
Copyright ©http://www.szgheng.cn 苏州国恒洁净技术有限公司 All rights reserved. 备案号:苏ICP备18017110号
咨询热线:
189-1358-3005
在线客服:
客服
二维码:
公司官网: http://www.szgheng.cn

在线留言 当前未读信息 0 条!